第三種采用雙級反滲透加EDI裝置 優(yōu)點(diǎn)是無需酸堿再生便可連續(xù)制取超純水，沒有環(huán)境污染。操作維護(hù)簡便，運(yùn)行成本低 缺點(diǎn)在于初期投資相對較高

1、采用離子交換樹脂制備純水的處理方式 原水→石英砂過濾器→活性炭過濾器→保安過濾器→陽床→陰床→混床→純水箱→純水泵→精密過濾器→用水點(diǎn)

活性炭的作用主要是去除大分子有機(jī)物、鐵氧化物、余氯等物質(zhì)。有機(jī)物、余氯、鐵氧化物易使交換樹脂中毒，而余氯、陽離子表面活性劑等還會破壞膜結(jié)構(gòu)，使反滲透膜失效。

樹脂“抱團(tuán)”現(xiàn)象是指混床中陰陽離子樹脂混合在一起時，由于陽離子樹脂脫下來的H+離子與陰離子樹脂脫下來的OH-離子互相結(jié)合成水，陽離子樹脂失去一些陽離子而顯負(fù)電性，陰離子樹脂失去一些陰離子而顯正電性，這兩種帶異性電荷的樹脂小球會互相吸引成團(tuán)狀。

預(yù)處理裝置主要由原水泵、石英砂過濾器、活性炭過濾器、保安過濾器等組成。其主要作用是降低原水的污染指數(shù)、余氯等其他雜質(zhì)，達(dá)到反滲透的進(jìn)水要求。

拋光樹脂是由氫型強(qiáng)酸性陽離子交換樹脂及氫氧型強(qiáng)堿性陰離子交換樹脂混合而成，一般用于超純水系統(tǒng)的末端，經(jīng)過拋光樹脂精處理后的水質(zhì)能達(dá)到18兆歐以上，并對TOC、SIO2有一定的抑制。

反滲透膜一般由高分子材料制成，表面微孔直徑一般在0.5～10nm之間，一般可分為醋酸纖維素膜、芳香族聚酰肼膜、芳香族聚酰胺膜等，透過性的大小與膜本身的化學(xué)結(jié)構(gòu)有關(guān)。

目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm。

總?cè)芙夤腆w（TDS）單位：ppm，1ppm表示水中某物質(zhì)或離子的濃度單位 電導(dǎo)率單位：μs/cm ，1ppm=2μs/cm